1月,首批浙江省股权交易中心“专精特新板挂牌企业”,企业代码:861027
2月,基于多级罗茨的BCR120&BCR600半导体真空泵研发立项;
BSR3000机型开发成功(用于光伏拉晶)
4月,BSR2000大批量出货(客户:捷佳伟创、拉普拉斯、微导纳米)
5月,A轮融资完成
7月,基于无锡松煜ALD机台,BSS4800机组7200小时无故障测试圆满完成;
通过“ GB/T 45001-2020/ISO 45001:2018职业安全管理体系”认证,
通过“ GB/T 24001-2016/ISO 14001:2015环境管理体系”认证,
8月,BCS3000机型Demo开发成功(12”碳化硅)