2024年1月,首批浙江省股权交易中心“专精特新板挂牌企业”,企业代码:861027
2024年5月 A轮融资完成
2024年7月 BSS4800机组,基于ALD机台,7200小时无故障测试圆满完成;
2024年7月 通过“45001:2018职业安全”和14001:2015环境管理体系”认证,
2024年8月, BCS3000机型Demo开发成功(12”碳化硅)
2024年9月 半导体外延用30L 真空泵开发成功
2024年11月 被认定为 浙江省高新技术企业研发开发中心
2024年12月 被认定为 嘉兴市制造业首台(套) 装备