从洁净制程到严苛应用，博亚精密以创新技术和全系列产品打破国外垄断

在2025年9月10日至12日举办的SEMI-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展上，浙江博亚精密机械有限公司作为国内领先的半导体用干式真空泵制造商盛大亮相，全面展示了从洁净制程到严苛制程的全系列真空解决方案。

本次展会是2025年度半导体行业最重要的盛会之一，汇集了全球1000多家半导体产业链企业。博亚精密凭借其完善的产品布局和创新的技术成果，在展会上吸引了大量专业观众和行业合作伙伴的关注。

全场景覆盖：三大制程解决方案满足多元需求

博亚精密专注于半导体行业真空泵开发和生产，构建了完整的产品矩阵，覆盖了严苛制程、中等制程和洁净制程全场景应用需求。

在洁净制程领域，公司产品广泛应用于LL、Transfer、PVD等工艺环节，主打机型包括TiClean-15L、TiClean-30L、TiClean-60L、BCR120等系列，以其卓越的稳定性和洁净度满足了半导体制造对环境控制的极高要求。

针对严苛制程如Etching、CVD等应用场景，博亚精密推出了BCR600、BCR1200、BCR1800、BCR3000等主力机型，采用特殊的防腐材料设计，能够耐受腐蚀性气体的侵蚀，确保设备在极端工况下的长期稳定运行。

"我们致力于成为泛半导体真空系统专家",公司技术总监在展会现场表示，"无论是光伏、锂电池还是半导体制造，我们都能提供最适合的真空解决方案。"

技术优势：八大核心亮点彰显创新实力

博亚精密真空泵产品具备多项技术优势，为国产半导体设备提供了可靠选择：

广泛的抽速范围：产品抽速覆盖15m³/h~7500m³/h的大范围选择，能够满足不同规模产线的需求

卓越的真空性能：极限真空度可达0.1Pa，满足半导体制造对真空环境的高标准要求

显著的节能效果：采用节能设计（节能30%以上）和同步永磁电机驱动，大幅降低客户运营成本

成熟的国产替代：实现行业同型号国产替代，打破国外厂商长期垄断局面

专业的材料设计：严苛制程采用特殊防腐材料，延长设备使用寿命

紧凑的结构设计：节能与体积紧凑并重，节省设备安装空间

智能化控制：具备完备的通讯及数据交互设计，支持智能化工厂建设

自主知识产权：拥有独立知识产权，确保供应链安全可控

应用验证：20000+案例铸就品质口碑

博亚精密真空产品已经过市场严格检验，在多个行业积累了20000+应用案例，证明了产品的可靠性和稳定性。

公司产品抽速范围达到15-5500m³/h，极限真空0.1Pa，已广泛应用于CVD、ETCHING等严苛制程环节，成为国内众多半导体制造企业的优选供应商。

"我们不仅提供产品，更提供全方位的技术支持和定制化服务，"公司销售总监在展台前向观众介绍，"每个行业、每个客户的需求都有所不同，我们能够根据具体应用场景提供最合适的解决方案。"

 展会反响：专业观众盛赞国产突破

SEMI-e展会期间，博亚精密展台吸引了来自全球各地的专业观众。许多业内人士对国产真空泵能够达到如此高的技术水平表示赞赏。

一位来自华东地区的半导体制造商代表表示："博亚精密的产品让我们看到了国产高端装备的进步，其性能已经能够与国际品牌媲美，而服务响应速度和成本优势更加明显。"

展会期间，公司接待了多家潜在客户和合作伙伴，并就技术合作和市场推广进行了深入交流，为后续业务拓展奠定了坚实基础。

浙江博亚精密机械有限公司将继续坚持技术创新，不断提升产品性能和质量可靠性，为国内半导体产业提供更多高质量的国产装备，助力中国半导体产业链的自主可控和可持续发展。

随着全球半导体产业格局的变化和国产替代进程的加速，博亚精密正迎来前所未有的发展机遇，公司将继续深耕半导体装备领域，为中国半导体产业的崛起贡献自己的力量。